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兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理：

电浆的产生可藉由直流(dc)偏压或交流射频(rf)偏压下的电场形成，如图5-3所示，而在电浆中的电子来源通常有二：一为分子或原子解离后所产生的电子，另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(secondaryelectron)，在直流(dc)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主，而交流射频(rf)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。

在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了：1)需要较高的功率消耗，也就是说产生的离子密度低；2)须要以离子撞击电极以产生二次电子，如此将会造成电极材料的损耗；3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。

在射频放电(rfdischarge)状况下，由于高频操作，使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极，因此这些电子将会在电极间作振荡，并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定，而通常振荡频率下限为50khz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56mhz。

不锈钢蚀刻后表面平滑度差的原因是什么。

蚀刻后不锈钢工件表面平滑度差，对于零件的后期使用与装配肯定会有不好的影响，一般来说合格蚀刻加工的零件表面平滑度是比较高的，只要---好每一个工序，基本不会出现什么问题，那么不锈钢蚀刻后表面平滑度差的原因是什么呢，下面兴之扬就为大家整理一下，大家对应一步步---。

一：蚀刻液里的杂质含量太高，蚀刻不准确，会造成表面粗糙，更换蚀刻液就可以解决；

第二：一般不锈钢蚀刻会采用---化铁来进行，如果---化铁的也会影响工件表面平滑度，选择---的---化铁供应商是很有---的；

第三：活化与添加剂含量不足，这就需要根据经验加强活化过程，以及定期补加合适区间的添加剂；

第四：氯离子浓度高或者磷酸离子浓度过低，也会引起工件表面平滑度差，因此要做好元素浓度的调整，氯离子过高可以更换部分溶液，或者添加适当的hno3和nh4no3进行稀释；

第五：如果不锈钢原材料不过关，材料晶粒比较粗糙，那么时候后的工件表面也会比较粗糙，因此要做好原材料的---。