调整垫片-中堂蚀刻-兴之扬蚀刻加工

湿式蚀刻的优缺点

低成本、高---性、高产能及---的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水；2)化学---处理时人员所遭遇的安全问题；3)光阻附着性问题；4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻；5)废气及潜在的性。

湿式蚀刻过程可分为三个步骤：1)化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；2)蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应；3)反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出(3)。三个步骤中进行慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻硅、铝时即是利用此种化学反应方式。

稀有蚀刻厂未来发展路,重中之重稀有蚀刻厂要想有好的发展未来，把握好蚀刻行业的商机之路，一定要在蚀刻技术及节能---上下苦功夫。因为现在都提倡：建设绿色生态城。稀有蚀刻技术在发达已有30-40年的发展，的蚀刻技术多掌握在一些他们手中，国内蚀刻零件的需求只能靠进口，发达消费水平高，相应的劳务费用、原料价格等原因，使得进口的产品交期长、成本，困扰企业的发展！随着经济的快速发展，制造的品质已接近国际要求，越来越多的---企业选择在采购。蚀刻行业也不例外，近10年的发展诞生了---小小几百家稀有蚀刻厂，蚀刻技术也在不断提高，蚀刻产品应用越来越广，需求越来越大，拉动蚀刻行业的发展！但经济的发展也影响着生态环境，这是关系到人民生活健康的问题。蚀刻是一种重污染的行业，如果任其废水排放，将---影响周围生态环境，未来治污保洁的成本将是企业生产利润的几十倍甚至几百倍！所以稀有金属蚀刻行业未来发展路，不是规模有多大，不是创造多少利润，而是工作！我们要的是经济利益和社会利益---，只有把工作做好了，才能谈经济利益！才能谈发展！