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兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻中的基本物理及化学现象：

在干法蚀刻中，随着制程参数及电浆状态的改变，可以区分为两种的性质的蚀刻方式，即纯物理性蚀刻与纯化学反应性蚀刻。纯物理性蚀刻可视为一种物理溅镀(sputter)方式，它是利用辉光放电，将气体如ar，解离成带正电的离子，再利用偏压将离子加速，溅击在被蚀刻物的表面，而将被蚀刻物质原子击出。此过程乃完全利用物理上能量的转移，故谓之物理性蚀刻。其特色为离子撞击拥有---的方向性，可获得接近垂直的蚀刻轮廓。但缺点是由于离子是以撞击的方式达到蚀刻的目的，因此光阻与待蚀刻材料两者将同时遭受蚀刻，造成对屏蔽物质的蚀刻选择比变差，同时蚀刻终点必须掌控，因为以离子撞击方式蚀刻对于底层物质的选择比很低。且被击出的物质往往非挥发性物质，而这些物质容易再度沉积至被蚀刻物薄膜的表面或侧壁。加上蚀刻效率偏低，因此，以纯物理性蚀刻方式在集成电路制造过程中很少被用到。

纯化学反应性蚀刻，则是利用电浆产生化学活性极强的原(分)子团，此原(分)子团扩散至待蚀刻物质的表面，并与待蚀刻物质反应产生挥发性之反应生成物，并被真空设备抽离反应腔。因此种反应完全利用化学反应来达成，故谓之化学反应性蚀刻。此种蚀刻方式相近于湿式蚀刻，只是反应物及产物的状态由液态改变为气态，并利用电浆来促进蚀刻的速率。因此纯化学反应性蚀刻拥有类似于湿式蚀刻的优点及缺点，即高选择比及等向性蚀刻。在半导体制程中纯化学反应性蚀刻应用的情况通常为不需做图形转换的步骤，如光阻的去除等。

兴之扬吹风机蚀刻不锈钢网小编给大家介绍表面处理前的工件验收的要求：

（1）焊接组合件的焊缝及热影响区域一般不应在腐蚀区域内。对有特殊要求的工件需要在焊接区域进行腐蚀时，应经过特殊工艺处理后方可进行。

（2）对于非结构工件在焊接区域需要进行金属腐蚀时，应避开焊缝。否则，应与委托加工商协商在蚀刻中可能出现的缺陷的处理方法并出具相关技术文件。

（3）工件原材料的厚度应按图样规定的尺寸进行检验。工件的同板差不应超过产品图样中腐蚀---较大腹板厚度公差的1/2.

（4）经热处理后的待金属腐蚀工件如需较形，应按产品图样要求校形后方可进行化学腐蚀。

（5）对有镶块的工件，应注明镶嵌方式及内部结构，并允许将镶块拆解后分开腐蚀。对于不允许拆解的镶件应说明理由并注明镶缝处理方式。

（6）对行腔工件金属蚀刻如有---要求的应在产品委托加工文件上注明。

（7）对行腔工件应提供材料的锻造方法及热处理状态。如有---要求应提供与形腔材料及热处理方法、加工方法一致的样件。

（8）对行腔不规则图形腐蚀（即皮纹腐蚀）应提供胶片，如无胶片应提供清晰实物样品，实物样品尺寸不小于50mm*50mm，并允许在实物样品时存在一定差异。

（9）对工件的图文腐蚀应提供图文胶片或光辉文件，如无胶片或光绘文件则应在交接工艺文件上注明图文大小、字体样式、线条宽度、

（10）对于需要进行图台或图形腐蚀的非结构工件应提供胶片或光绘文件。需要定位应提供定位模。